Страница 3 из 22
Классификация чистых помещений и чистых зон
4. Чистые помещения и чистые зоны следует классифицировать по ГОСТ ИСО 14644-1. Порядок подтверждения класса чистоты при аттестации (испытании) и порядок текущего контроля различны. Максимально допустимая концентрация аэрозольных частиц для каждой зоны приведена в таблице.
Зона
|
Максимально допустимое число частиц в 1 куб. м воздуха при размере частиц, равном или большем
|
в оснащенном состоянии
|
в эксплуатируемом состоянии
|
0,5 мкм
|
5,0 мкм
|
0,5 мкм
|
5,0 мкм
|
A
|
3520
|
20
|
3520
|
20
|
B
|
3520
|
29
|
352000
|
2900
|
C
|
352000
|
2900
|
3520000
|
29000
|
D
|
3520000
|
29000
|
Не регламентируется
|
Не регламентируется
|
5. При аттестации зон A на класс чистоты объем отбираемой пробы воздуха должен быть не менее 1 куб. м для каждой точки отбора проб.
Зоне A соответствует класс чистоты воздуха 4, 8 ИСО, определяемый требованием к концентрации частиц с размерами >= 5,0 мкм. Зоне B в оснащенном состоянии соответствует класс 5 ИСО для обоих значений пороговых размеров частиц. Зоне C (оснащенное и эксплуатируемое состояние) соответствуют классы чистоты 7 ИСО и 8 ИСО соответственно. Зоне D (оснащенное состояние) соответствует класс чистоты 8 ИСО.
Для целей классификации ГОСТ ИСО 14644-1 устанавливает методику определения минимального числа точек отбора проб и объема пробы в зависимости от предельно допустимой концентрации частиц с наибольшим пороговым размером и методы оценки полученных данных.
6. При аттестации чистых помещений на класс чистоты следует использовать переносные (передвижные) счетчики частиц с короткими пробоотборными трубками, поскольку в системах с удаленными точками отбора проб длина трубок велика и высока вероятность осаждения частиц с размерами >= 5,0 мкм на стенках трубок. При счете частиц в однонаправленном потоке воздуха следует применять изокинетические пробоотборники.
7. Аттестация в эксплуатируемом состоянии может проводиться в условиях действующего технологического процесса, имитации процесса или при наполнении средами, если требуются испытания для наихудшего случая. Указания по проведению испытаний для подтверждения непрерывного соответствия заданному классу чистоты приведены в ГОСТ Р ИСО 14644-2.
|